CVD涂层设备
CVD涂层设备
设备类型 | ANC 530L（CVA BL190 LS） | ANC 560L |
反应室尺寸（mm） | 530x1600 | 560x1600 |
最大装炉量（kg） | 400 | 480 |
功率(kw) | 100 | 105 |
加热区 | 5 | 5 |
涂层温度 | 700-1050℃ | 700-1050℃ |
涂层类型 | TiC/TiN，TiCN，α-A1203，κ-A1203 | |
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CVA 190L
